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在自主设计的定向凝固设备中进行，熔炼、浇注与定向凝固均在真空环境中进行，由真空系统、熔炼系统和定向凝固系统组成。真空系统由机械泵和扩散泵两级系统组成，熔炼装置采用电磁感应熔化，定向凝固采用水冷铜底座实现。
本文由rxl，欢迎大家完善单晶炉热场的设计与单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚 速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，